技术支持

CitriSurf能够快速高效地去除半导体器件和元件表面污染物及金属粒子，包括Al、Ca、Cr、Co、Cu、Fe、Pb、Mg、Ni、K、Ag、Na和Zn。凭借其独特的配方，CitriSurf在接触器件表面后能够自动螯合金属离子，并将其沉积在溶液底部。随后，它会在器件表面快速形成一层稳定致密的钝化膜，防止金属颗粒沉积和从基材剥落，从而提高产品性能稳定性。

表面钝化评价（ESCA）

以下数据展示了采用现代方法，分别使用硝酸（ASTM A-967，硝酸2型）和CitriSurf 2050（A-967，柠檬酸4型）对AISI 316L不锈钢进行钝化处理的分析结果。该分析采用电子化学分析光谱法（ESCA）（或XPS）和俄歇电子能谱法（AES）对钝化后不锈钢表面的化学成分进行定量分析。

所有样品均采用避免有机离子污染的方法制备。样品采用标准ESCA和AES技术进行分析。ESCA结果如图1所示。SEMI标准要求Cr/Fe比值至少为1.5/1，而本测试设备要求CrOx/FeOx比值至少为3.2/1。

表面钝化评价（AES）

图 2 以表格形式展示了 AES 数据。这些图表还显示，经 CitriSurf 处理的样品具有更厚的氧化层、最深的富集深度以及更优异的表面铬层富集效果.

尽管 AES 数据比 ESCA 数据更主观，但该测试仍然显示出相对的改进。

※如果您需要更多英文信息，请联系我们。

ASTM 合规标准

ASTM A967（不锈钢部件化学钝化标准规范）
ASTM B600（钛金属酸洗清洁）
AMS 2700（航空航天工业Method 2）
AMPP SP21485（货船储罐）
ASTM A380（不锈钢部件、设备和系统的清洗、除垢和钝化）
ASTM F86（金属外科植入物表面处理和标记标准）
ASTM F1089（外科器械腐蚀标准试验方法）
ASTM B912（电抛光不锈钢钝化技术）

军用标准:
MIL-S-5002
MIL-STD-171
MIL-DTL-14072
MIL-STD-753